产品名称:激光共焦显微镜

产品型号:OLS5000

产品品牌:Olympus 奥林巴斯

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OLS5000激光共焦显微镜

 

概述

OLS5000激光共焦显微镜可精确测量亚微米级的形貌和表面粗糙度。数据采集​​比奥林巴斯以前的显微镜型号快四倍,从而大大提高了生产效率。

 

高分辨率,精确成像

凭借对各种类型样品进行精确3D测量的能力,系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。


卓越的横向分辨率

卓越的横向分辨率 405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。
红光型(658纳米:0.26微米空间) 微米紫光型(405纳米:0.12线和空间)
红光型(658纳米:0.26微米空间) 微米紫光型(405纳米:0.12线和空间)

一致的测量值

LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

一致的测量值

传统物镜

传统物镜

LEXT物镜

LEXT物镜


新开发的MEMS扫描振镜

新开发的MEMS扫描振镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差,可进行精确的X-Y扫描。


4K扫描技术

4K扫描技术

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及极低的台阶。


捕获真实形貌

捕获真实形貌

由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术,其有时会将精确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法,可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现精确测量。


其他高分辨率测量技术

  • MEMS扫描PEAK算法
  • 双共焦系统
  • Sq噪声(测量噪声)保证
  • 准确性和重复性均可保证
  • 混合匹配算法
  • 混合阻尼机构
  • HDR扫描

快速采集结果:高速扫描

该显微镜的扫描算法既可提高数据质量又可提高速度,从而缩短您的扫描时间,简化您的工作流程,最终实现生产力的提升。

PEAK算法

PEAK算法

VLSI标准80纳米高度样品(MPLFLN10XLEXT)

OLS5000显微镜采用了用于3D数据构建的PEAK算法。该算法可获得从低倍率到高倍率的高精度数据,并可缩短数据采集时间。


跳跃式扫描

在测量存在近似垂直面(如电子器件或MEMS)样品上的台阶形貌时,可通过限制Z方向扫描范围缩短数据采集时间。

在不降低精度的情况下,测量700微米的台阶大约在15秒左右(使用MPLAPON20x物镜时)。


其他提高速度的技术

  • 频带扫描
  • 1线数据采集

高效率工作:简单的操作程序

系统具有自动数据采集功能,因而无需进行复杂的设置调整。甚至普通用户也可以获得准确的检测结果。

简化测量区域

简单分析功能可仅在指定测量范围内测量台阶、线宽、表面粗糙度、面积和体积。自动检测测量结果变动的原因(如体积分析中参考平面的边缘位置和阈值)让测量结果保持稳定,不受操作员技能水平的影响。

Height

测量两个指定区域之间的台阶高度差和距离

Angle

测量两个指定区域之间的角度差

Volume

测量指定区域的面积/体积;自动检测参考平面,因此无需设置阈值。

Rough.

测量指定区域的表面粗糙度

Width

通过自动检测指定区域的边缘测量宽度

Sphere

基于指定区域中的圆形自动识别测量半径R和距离基准平面的高度


自动图像校正

Automatic image correction

智能判别处理可在无损数据精度的情况下自动消除测量噪声,而智能找平功能可探测零高度位置的主水平面(参考平面)。简单一次点击即可启动两项工作。


利用模板节省时间

报告中包含的所有操作和过程均可保存为模板。
在重复进行相同测量时,使用此模板可采用同一流程获得下一组数据的分析报告。
无需操作人员干预即可指定操作流程和测量点的功能能够以最小差异进行快速、精确的分析。

输出报告并进行测量 输出报告并保存模板 在下次采集过程中,打开已保存的模板 即刻输出基于模板的报告
输出报告并进行测量 输出报告并保存模板 在下次采集过程中,打开已保存的模板 即刻输出基于模板的报告

令系统更便于使用的其他技术

  • 实时宏观测图
  • 连续自动对焦
  • 智能扫描II
  • 宏功能

灵活:可测量尺寸较大的样品

可测量最高210毫米的样品

可测量最高210毫米的样品 OLS5000显微镜的扩展架可容纳高达210毫米的样品,而超长工作距离物镜能够测量深度达到25毫米的凹坑。
在进行这两种测量时,您只需将样品放在载物台上即可。
连杆 刀具 活塞头
连杆 刀具 活塞头

LEXT专用长工作距离物镜

奥林巴斯可提供能够针对405纳米激光减小像差的10x至100x系列物镜。本系列还包括低倍率和长工作距离物镜。所有LEXT专用物镜均可确保测量性能,由此可以选择最适合您所观察样品的一款物镜。

Rubert & Co标准粗糙度样板528 (Pt = 1.5微米)

常规物镜(50X)

常规物镜(50X)

LEXT专用物镜(50X)

LEXT专用物镜(50X)


超长工作距离物镜

超长工作距离物镜

我们的LEXT专用物镜系列产品包括增强显微镜测量性能的10x物镜和长工作距离物镜。

 

应用

汽车/金属加工

表面纹理/面粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 3x3拼接)

表面纹理/面粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接)

喷油嘴(复制品)/面粗糙度测量(LMPLFLN50XLEXT)

喷油嘴(复制品)/面粗糙度测量(LMPLFLN50XLEXT)

活塞环/面粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)

活塞环/面粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)

轴承球/轮廓测量(MPLAPO50XLEXT)

轴承球/轮廓测量(MPLAPO50XLEXT)


材料

不锈钢腐蚀坑/高度测量(MPLAPON20XLEXT / 3x3拼接)

不锈钢腐蚀坑/高度测量(MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接)

铜板/面粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)

铜板/面粗糙度测量(MPLAPON50XLEXT)

扩散板/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 3x3拼接)

扩散板/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 3×3拼接)

海绵/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT / 3x3拼接)

海绵/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT / 3×3拼接)


电子元器件

镍块/高度测量(MPLAPON20XLEXT)

镍块/高度测量(MPLAPON20XLEXT)

MEMS超声换能器(MPLAPON50XLEXT)

MEMS超声换能器(MPLAPON50XLEXT)

光刻胶/高度测量(MPLAPON100XLEXT)

光刻胶/高度测量(MPLAPON100XLEXT)

键合金线(MPLAPON100XLEXT)

键合金线(MPLAPON100XLEXT)


其他

微针/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 6x6拼接)

微针/轮廓测量(MPLAPON50XLEXT / 6×6拼接)

皮肤(复制品)/面粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 5x5拼接) 由文化学园大学服装学院功能设计实验室提供

皮肤(复制品)/面粗糙度测量(MPLAPON20XLEXT / 5×5拼接)
由文化学园大学服装学院功能设计实验室提供

研磨石/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT)

研磨石/轮廓测量(MPLAPON20XLEXT)

圆珠笔插座/面粗糙度测量(LMPLFLN20XLEXT)

圆珠笔插座/面粗糙度测量(LMPLFLN20XLEXT)

 

技术规格

主机

型号 OLS5000-SAF OLS5000-SMF OLS5000-LAF OLS5000-EAF OLS5000-EMF
总倍率 54x – 17,280x
视场直径 16um – 5,120um
测量原理 光学系统 反射式共聚焦激光扫描激光显微镜
反射式共焦激光扫描激光-DIC显微镜
彩色
彩色DIC
光接收元件 激光:光电倍增管(2ch)
彩色:CMOS彩色相机
高度测量 显示分辨率 0.5nm
Linear scale 0.78nm
动态范围 16 bits
重复性*1 *2 *6 10x : 0.1μm, 20x : 0.03μm, 50x : 0.012μm, 100x : 0.012μm
准确性*1 *3 *6 0.15 + L/100μm (L: Measuring length[μm])
拼接图像准确度  *1 *4 *6 10x : 5.0+L/100μm, 20x or higher : 1.0+L/100μm (L: Stitching height[μm])
测量噪声*1 *5 *6 1nm [Typ]
宽度测量 显示分辨率 1nm
重复性 *1 *6 10x : 0.2μm, 20x:0.05μm, 50x : 0.04μm, 100x : 0.02μm
准确度*1 *3 *6 测量值 +/- 1.5%
拼接图像准确度*1 *3 *6 10x : 24+0.5L μm, 20X 15+0.5L μm, 50X 9+0.5L μm, 100X 7+0.5L μm (L: Stitching length[mm])
单次测量时测量点的最大数量 4096 x 4096 pixel
测量点的最大数量 36 Mpixel
XY 载物台配置 长度测量模块
工作范围 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual 300 x 300 mm Motorized 100 x 100mm Motorized 100 x 100mm Manual
最大样品高度 100mm 40mm 37mm 210mm 150mm
激光光源 波长 405nm
最大输出 0.95 mW
激光分类 2类 (IEC60825-1:2007, IEC60825-1:2014)
彩色光源 白光 LED
电气功率 240 W 240 W 278 W 240 W 240 W
质量 显微镜主体 约31 kg 约 32 kg 约 50 kg 约43 kg约  44 kg
控制箱 约12 kg

* 1 在ISO554(1976)、JIS Z-8703(1983)规定的恒温恒湿环境下使用时提供保证(温度:20˚C±1˚C, 湿度:50%±1%)。
* 2 在使用MPLAPON LEXT 系列物镜测量时超过20次。
* 3 在使用LEXT专用物镜测量时。
* 4 在使用MPLAPON100XLEXT 物镜测量时的典型值。
* 5 基于奥林巴斯认证体系保证。

物镜技术规格

系列 型号 数值孔径(NA) 工作距离(WD)(毫米)
UIS2物镜 MPLFLN2.5x 0.08 10.7
MPLFLN5x 0.15 20
LEXT专用物镜(10X) MPLFLN10xLEXT 0.3 10.4
MPLAPON20xLEXT 0.6 1
LEXT专用物镜(高性能型) MPLAPON50xLEXT 0.95 0.35
MPLAPON100xLEXT 0.95 0.35
LMPLFLN20xLEXT 0.45 6.5
LEXT专用物镜(长工作距离型) LMPLFLN50xLEXT 0.6 5
LMPLFLN100xLEXT 0.8 3.4
SLMPLN20x 0.25 25
超长工作距离物镜 SLMPLN50x 0.35 18
SLMPLN100x 0.6 7.6
LCPLFLN20xLCD 0.45 8.3-7.4
适用于LCD透镜的长工作距离 LCPLFLN50xLCD 0.7 3.0-2.2
LCPLFLN100xLCD 0.85 1.2-0.9

应用软件

标准软件 OLS50-BSW 数据采集app
分析app (简单分析)
电动载物台套装应用*1 OLS50-S-MSP
扩展分析应用*2 OLS50-S-AA
薄膜厚度测量 OLS50-S-FT
自动边缘测量应用 OLS50-S-ED
颗粒物分析应用 OLS50-S-PA
多文件分析应用 OLS50-S-MA
球体/圆柱体表面角度分析应用 OLS50-S-SA

* 1包括自动拼接数据采集和多区域数据采集功能。
* 2包括轮廓分析、差值分析、台阶高度分析、表面分析、面积/体积分析、线粗糙度分析、面粗糙度分析和直方图分析。


产品系列

OLS5000-SAF配置示例
OLS5000-SAF配置示例

OLS5000-SAF

  • 100毫米电动载物台
  • 最大样品高度:100毫米

OLS5000-SAF

OLS5000-SAF - Dimention

OLS5000-EAF

  • 100毫米电动载物台
  • 最大样品高度:210毫米

OLS5000-EAF

OLS5000-EAF - Dimention

OLS5000-SMF

  • 100毫米手动载物台
  • 最大样品高度:40毫米

OLS5000-SMF

OLS5000-SMF - Dimention

OLS5000-EMF

  • 100毫米手动载物台
  • 最大样品高度:150毫米

OLS5000-EMF

OLS5000-EMF - Dimention

OLS5000-LAF

  • 300毫米电动载物台
  • 最大样品高度:37毫米

OLS5000-LAF

OLS5000-LAF - Dimention

PC计算机和控制单元

PC计算机和控制单元