ZEISS蔡司的多功能 Smartproof 5 快速转盘共聚焦显微镜是用于表面分析的集成系统：快速，准确，可重复。可用于各种工业应用质量保证和质量控制部门，生产部门及 R&D 实验室日常分析中需要解决的问题。
这套高质量的共聚焦系统使用蔡司 ZEN 图像分析软件，为您带来更大的用户体验和提高生产力的附加利益。
汽车与航空航天：轴承、密封件、活塞、气缸、喷油嘴、注塑或增材制造部件的粗糙度测量
材料研究/工程 材料（例如纤维、石头、光子结构）：表面特性检测、电化学蚀刻后的深度测量、耐腐蚀研究、注塑工艺特性检测
金属与钢材：抛光和机械加工金属表面、刀具的粗糙度测量和耐腐蚀研究
电子器件：印刷电路板、集成电路封装、冷凝器、太阳能电池板、LED、显示器、玻璃上的
3D 表面形貌或粗糙度测量：医疗行业 医疗器械和功能性表面的非接触面粗糙度特性检测
可信的数据输出
1) 由于宽场相关孔径共聚焦技术，Smartproof 5能够有效地减少获取分析结果的时间，从而能够保证高分辨率的同时也能够实现快速成像。
2) 蔡司优异的光学系统和可靠部件让用户有效率地进行各种应用。
3) 搭配ConfoMap软件——蔡司版本的Mountains-Map——测量软件中的黄金标准。
4) 您可以根据国际标准来分析您的数据并获取相关分析报告。
引导式工作流程
1) 由于其简易的操作系统和工作流程，Smartproof 5尤其适合研究生产和过程控制。
2) 易学的检查流程和面向工作流程的图像用户界面（GUI）指导用户进行重复性任务。
3) 在结果准确、可追溯的基础下，确保用户能够独立完成数据获取。
高集成度和稳固设计
1） 得益于高度集成系统：光学元件，电子部件以及照相机都封装在显微镜中。
2） Smartproof 5 的实用稳固结构让其有效地防止振动。
优异的蔡司光学
1） 新的蔡司物镜系列 C Epiplan-Apochromat 是专门为了快速转盘共聚焦系统特别设计的。这些高数值孔径物镜不但能在可见光范围下拥有更好的性能，在405纳米（获取共聚焦图像所使用的波长）下也同样如此。
2） 相比传统的点扫描共聚焦显微镜，使用快速转盘共聚焦技术的 Smartproof 5 拥有更加优异的性能。通过集成在 Smartproof 5 探测器模块里面的相关联的光阑转盘技术来实现的 Smartproof 5 优异的性能，同时还保持了共聚焦显微镜表面表征的典型特点。您能够得益于它杰出的高度解析能力和横向分辨率。
用于准确导航的引导式工作流程
由于其集成的ZEN图形用户界面支持从宏观到微观分析的无缝切换工作流程，Smartproof 5 的定位简单而准确。通过概览图像就能够容易地定义要测量的位置。获取的数据会被自动传输到 Confomap 软件，让您对样品的三维属性进行处理和分析。工作流程能够保存以便再次执行同样的微观三维分析。
值得信赖的数据输出
自动化的 Smartproof 5 部件让软件能够监控每个部件的状态。因此用于重复性分析的工作流程很容易创建。通过功能强大的 ConfoMap 软件，您可以分析样品的几何参数，或依据 ISO 标准执行 2D （轮廓）和 3D （面积）粗糙度分析。
显微镜主体：
1） 扫描头，包括 Z 轴精细调焦驱动以及 4 百万像素相机
2） 主机架，包括 Z 轴粗调焦驱动
3） 6 位物镜转盘
物镜：
1） EC Epiplan-Neofluar 2.5×/0.06（标配）
2） C Epiplan-Apochromat 5×/0.2
3） C Epiplan-Apochromat 10×/0.4
4） C Epiplan-Apochromat 20×/0.7
5） C Epiplan-Apochromat 50×/0.95 灵活多样的组件选择
6） LD C Epiplan-Apochromat 50×/0.6 （长工作距离）
7） LD C Epiplan-Neofluar 100×/0.75 （长工作距离）
计算机系统
1） 电脑系统自带 Smartproof ZEN 软件
2） 显示器
3） 可控制 XYZ 轴的 3D 鼠标
软件
1） ZEN core，用于数据采集和成像
2） ConfoMap，用于数据分析
3） ZEN Shuttle & Find，用于关联显微镜
4） ZEN Data Storage，用于集中式数据 管理
5） ZEN Intellesis，用于图像分割
6） ZEN Connect，用于不同成像方式的 数据可视化和分析
7） NEO pixel，用于 2D 自动化测量
| 不同物镜放大倍率下的图像视场 | 物镜放大倍率和数值孔径 | 视场大小（µm × µm） | 工作距离 (mm) |
| 5×/0.2 | 2250 × 2250 | 21.0 | |
| 10×/0.4 | 1125 × 1125 | 5.4 | |
| 20×/0.7 | 562 × 562 | 1.3 | |
| 50×/0.95 | 225 × 225 | 0.22 | |
| 50×/0.6 | 225 × 225 | 7.6 | |
| 100×/0.75 | 112 × 112 | 4.0 | |
| 图片像素分辨率 | 水平分辨率（线对），使用 50×/0.95 | ||
| 2048 × 2048 像素 | 物镜 0.13 µm | ||
| 水平测量不确定性 | ±(0.1 µm + 0.008 × L)（或更佳） | ||
| 垂直测量不确定性 | ±(0.1 µm + 0.012 × L)（或更佳） | ||
| Z 轴步进精度小到 | 1 nm | ||
| 光源 | 405 nm LED 光用于共聚焦成像模式，RGB LED 光用于真彩成像模式 | ||
| 相机帧速率 | 50 fps（使用 USB 3.0 且在 2048 × 2048 像素成像时） | ||
| 颜色位数 | 10 bit | ||
| 高度扫描范围 | 高达 5 mm | ||
| 允许测量工件高度大到 | 100 mm | ||
| 允许测量工件重量达到 | 5 kg | ||
| 扫描台尺寸 | 300 mm × 240 mm | ||
| XY 方向的行程 | 150 mm × 150 mm | ||
| 图像数据处理和测量 | 2D：距离、高度、角度、构造元素和基于 ISO 4287 标准的轮廓粗糙度 | ||
| 3D：水平距离、3D 距离、高度、角度、构造点、面积、体积和基于 ISO 25178 标准的面粗糙度 | |||
| 其它：水平调整、形状去除、滤波、去噪及报告 | |||
