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利用金相显微镜对镀层厚度进行测量

来源:中国经济网 时间:2019-01-28 11:03 星期一 作者:jt

最近有个客户委托检测(SKYLABS)对其的一个薄膜材料进行厚度测量,这种薄膜材料一般都是um级别(1um=0.001mm),用普通方法测量是相对困难的。这里天纵君利用了我们的一套金相显微镜及其配合的软件测量系统,相对比较圆满的完成了此次测量任务。

【测试原理】采用金相显微镜检测横断面,直接以标尺以辅助测量金属覆盖层、氧化膜层的局部厚度的方法。

【参考标准】GB/T6462-2005

【测试仪器】金相显微镜及金相测量软件

利用金相显微镜对镀层厚度进行测量

【测试范围】一般最好样品厚度检测大于1um,才能保证测量结果在误差范围之内;厚度越大,误差越小。

利用金相显微镜对镀层厚度进行测量

【测试方法的优缺点】这种测试方法的优点在于适用的镀层范围内测试结果特别准确,误差非常小(经微分尺校准其的误差可以在0.01um以下),可以选择其作为争议的仲裁决定方法;这种方法的缺点在于制备镀层测厚试样的过程耗时费力。